주력사업

반도체 공정에서 발생하는 화학 물질 및 산화막 제거에 대한 세정 솔루션을 제공 합니다

자동화 시스템이 적용 된 설비로 제품 투입 시 세정 후 완전 건조 상태로 배출 됩니다

화학약품 세정, 초순수 세정 공간을 완전히 분리하여 용액이 혼합 되는 상황을 차단합니다

Chemical solution cleaning equipment (SC)

화학 용액 세정(SC 모델)

Ultrapure DI water cleaning equipment (S)

초순수D.I 세정(S 모델)

공정

화학 세정(SC)

화학 용액으로 2단계 세정 후 린스와 에어블로우로 건조하는 공정

01
화학 세정 1
02
화학 세정 2
03
린스
04
건조 (에어 블로우)

초순수 세정(S)

초순수 D.I Water로 4단계 세정 후 에어블로우와 열풍으로 완전 건조하는 공정

01
세정 1
02
세정 2
03
린스
04
최종 린스
05
건조 (에어 블로우)
06
건조 (히터 / 열풍)
주력 사업 | 반도체 세정·약품·자동화 | 월드이엔지 | World ENG